深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司

Model 730 真空電容式壓力計(jì) 特性 ·高精度：±0.5% 讀數(shù) ·張緊的膜片保證優(yōu)異的性能 ·工作溫度補(bǔ)償范圍寬 ·回路噪聲低，響應(yīng)快 ·不易受環(huán)境條件變化影響 ·出色的抗過壓設(shè)計(jì) ·符合 CE 和 RoHS 規(guī)范 應(yīng)用 ·半導(dǎo)體處理室 ·石化 ·等離子體滅菌器 ·真空包裝 ■ 耐化學(xué)品的 InconelTM 設(shè)計(jì) ■ 精確的低真空測(cè)量 ■ 專用壓力接頭 Setra 的 730 型是一款高精度的電容式壓力計(jì)（亦稱電容 式膜片真空計(jì) (CDG)），適合在光伏、半導(dǎo)體和工業(yè)市場(chǎng) 中測(cè)量對(duì)過程控制至關(guān)重要的低真空范圍。該產(chǎn)品讀數(shù)精 度達(dá) ±0.5%，分辨率高，優(yōu)于同類產(chǎn)品。730 型使用全 InconelTM 接液材料，可承受半導(dǎo)體加工過程中的腐蝕性介 質(zhì)。由于采用直接測(cè)量設(shè)計(jì)，它能精確測(cè)量介質(zhì)，不受應(yīng) 用中氣體混合物成分的影響。 適合苛刻應(yīng)用的高性能產(chǎn)品 采用單膜片可變電容感應(yīng)元件，適用于苛刻的半導(dǎo)體和工 業(yè)真空應(yīng)用。它具有讀數(shù)精度和分辨率高、動(dòng)態(tài)范圍寬的 特點(diǎn)，使之成為關(guān)鍵制造過程中的理想選擇。 Inconel® 設(shè)計(jì)保證通用性 所有接液部件均采用 Inconel TM 材料，因此對(duì)半導(dǎo)體 和工業(yè)真空過程中的腐蝕性介質(zhì)具有極高的耐受性。 Inconel TM 材料結(jié)合全焊接結(jié)構(gòu)，確保 730 型在這類 應(yīng)用中的長(zhǎng)使用壽命。 直接壓力測(cè)量 內(nèi)置膜片可在使用點(diǎn)直接測(cè)量壓力變化。與其他工業(yè) 電容式壓力計(jì)不同，730 型測(cè)量直接壓力，不受被測(cè) 混合氣的影響，這使其精度優(yōu)于間接測(cè)量型壓力計(jì)。 耐壓 范圍 耐壓（PSIA） 所有范圍 45 PSIA 網(wǎng)址：www.setra.com.cn | 郵箱：China@setra.com.cn | 熱線：400-666-1802 | © Setra Systems, Inc. 保留所有權(quán)利。 - 5 - Model 73