英福康全新現(xiàn)貨IC6薄膜沉積控制器INFICON

供應(yīng)參數(shù)

供應(yīng)價(jià)格

品牌: 英?？?/span>

產(chǎn)地: 德國(guó)

規(guī)格: IC6

59999

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IC6 薄膜沉積控制器在 INFICON 深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司

功能豐富的 IC6 提供測(cè)量精度

IC6 薄膜沉積控制器在 INFICON 薄膜沉積控制器可靠成熟的性能基礎(chǔ)上，增添了更多獨(dú)特的功能，可幫助您實(shí)現(xiàn)沉積過(guò)程的價(jià)值。IC6 使用我們的 ModeLock 頻率測(cè)量系統(tǒng)，提供穩(wěn)定、高分辨率的速率和厚度測(cè)量，速率分辨率可達(dá)每 1/10 秒 0.00433 ?/s，是行業(yè)中的佼佼者。IC6 具有其他石英晶體控制器無(wú)法比擬的性能、品質(zhì)和功能，賦予您的過(guò)程卓越的可重復(fù)性。

功能

INFICON ModeLock 技術(shù)確保獲得高、穩(wěn)定的速率和厚度測(cè)量分辨率，即使在速率極低的情況下
Auto Z 技術(shù)通過(guò)自動(dòng)測(cè)定沉積材料的 Z 比值，可提高厚度測(cè)量的精度
支持最多六個(gè)來(lái)源同時(shí)共鍍膜
彩色 TFT LCD 顯示屏使用戶很容易看到過(guò)程的進(jìn)展?fàn)顩r
100ms 樣本速率下頻率范圍為 +/-0.0035 Hz
USB 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)功能可存儲(chǔ)屏幕截圖、配方存儲(chǔ)和數(shù)據(jù)記錄
強(qiáng)大的 I/O 憑借其靈活性可融入簡(jiǎn)單或復(fù)雜的系統(tǒng)（使用可擴(kuò)展輸入 (28) 和輸出 (24 繼電器，14 TTL 輸出)，并充分利用邏輯功能（100 個(gè)邏輯語(yǔ)句）
6 個(gè)標(biāo)準(zhǔn) DAC 輸出和另外 6 個(gè)可選輸出用于來(lái)源控制、速率或厚度監(jiān)控
可容納最多 50 個(gè)過(guò)程，每個(gè)過(guò)程 200 層，這些過(guò)程關(guān)聯(lián)到一起，總共可容納 10,000 層。
多路傳感器可平均分配為 8 個(gè)傳感器
4 米 XIU 選件能夠在大型系統(tǒng)中使用較長(zhǎng)的真空傳感器電纜
可選以太網(wǎng)通信
符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

典型應(yīng)用

高端光學(xué)鍍膜

零件號(hào)

規(guī)格


測(cè)量性能
頻率分辨率		±0.0035 Hz @ 6 MHz
厚度和速率分辨率/測(cè)量 (1)		±0.00433 ?
測(cè)量頻率范圍		6.0 to 4.5 MHz (fixed)
厚度精度 (2)		0.5%
測(cè)量周期		0.10 s
多個(gè)測(cè)量值平均		0.1, 0.4, 1.0, 4.0, 10.0, 20.0, and 30.0 sec. averaging allowed
設(shè)計(jì)功能
Auto Z		yes
自動(dòng)色調(diào)		yes
共沉積		yes (up to 6 sources)
過(guò)程配方和數(shù)據(jù)管理
材料計(jì)劃		32
過(guò)程層（每個(gè)過(guò)程）		200
過(guò)程		50 (processes can be linked together)
USB 存儲(chǔ)器		yes
數(shù)據(jù)記錄		yes
硬件功能
傳感器 (3)
單		8
雙 / CrystalTwo®		4 / 8 (with CrystalTwo^® Switch)
CrystalSix®		8
Crystal 12®		8
通用		8

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